智能家居必备的集成传感器与MEMS

   现在基本的家居智能传感器集成传感器，集成传感器是一种半导体敏感元件，在芯片上制作测量处理电路，利用集成电路技术，使用成本低廉的小传感器。

 

    与集成电路技术和微机械加工方法的使用，机械和电气部件的各种物理效应和基于集成在一个芯片处理电路敏感，使微机电系统（Micro－Electro－MechanicalSystems，MEMS）传感器。

 

    智能家居必须理解传感器与MEMS的集成

 

    传感器的传感结构可以是微米或亚微米的，可以批量生产。它具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、成本低等优点。

 

 

    中国的MEMS产业处于世界领先地位，包括美国Mars的火车已经发明了我们中国的传感器，如MEMS加速度计和压力传感器已广泛应用于汽车工业，作为智能家居的一个以上的传感器提供一个典型的应用是MEMS。

 

    MEMS不仅依赖于电子技术，还依赖于机械加工技术。

 

    智能家居必须理解传感器与MEMS的集成

 

    集成电路技术、微细加工技术等新技术和新技术的发展为传感器的集成化和小型化提供了可能性。微细加工技术制成的微米尺寸的敏感元件，利用各向异性刻蚀，牺牲层技术和LIGA技术（如光刻、电铸和注塑成型），可以创建一个三层的微观结构有很大的差异，包括移动的隔膜、悬臂梁、桥、槽、孔、锥。

 

    采用灵敏的结构和检测电路的单片集成技术，避免了引线芯片在多芯片组件中引入的寄生效应，提高了器件的性能，提高了抗干扰能力。微电子和微传感器的微机械加工技术产生的包装系统的使用，与传统的传感器相比，具有体积小、重量轻、成本低的优点，功耗低，可靠性高，适用于大批量生产，该智能功能，易于集成和实现，在智能家居有决定系统的一部分。